Polprevodniški CNC obdelani deli
Izdelujemo po meripolprevodniški CNC obdelani deliiz risb strank in datotek CAD, vključno zkomponente vakuumske komore, plošče in pribor za distribucijo plina, deli za ravnanje z rezinami in vpenjalni deli, komponente črpalk in ventilov, RF deli, hladilne plošče, hladilna telesa in komponente procesnega kompleta. Naše CNC-struženje, rezkanje, 5-osna obdelava, švicarski CNC in stružni-mlin podpirajo komponente s tesno toleranco za jedkanje, nanašanje, litografijo, ionsko implantacijo, CMP in meroslovno opremo.
Deli polprevodniške opreme živijo v drugačnem svetu kot običajni industrijski deli: preživeti morajovakuum, korozivni procesni plini, plazma, temperaturno kroženje in zahteve za nadzor-delcev. Izbira materiala je zato prva odločitev pri vsakem projektu strojne obdelave polprevodnikov. Izdelujemo natančne ocene -316L VIM-VAR in nerjaveče jeklo 316L, aluminij 6061-T6 in 7075-T6, titan stopnje 5, molibden TZM, OFHC baker C10100, nikljeve zlitine in PEEK/PTFE inženirska plastika- in uporabite zaključke,-združljive s čistimi prostori, kjer jih aplikacija zahteva. Deli so izdelani v skladu z določenimi dimenzijami, tolerancami, materiali in zahtevami glede končne obdelave, s certifikati materialov, ki so na voljo na zahtevo.
Od posameznih prototipov za razvoj novega orodja do ponavljajočih se proizvodnih setov za rezervne procesne komplete, obdelujemo polprevodniške komponente do risbe - ne glede na količino.
CNC obdelani deli za uporabo v polprevodnikih
Oprema za jedkanje in nanašanje
Ohišje komore · obloge komore · plošče za razdelitev plina · sklopi elektrod · fokusni obroči · objemni obroči · pritrdilni deli prhe
Materiali:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Titan stopnje 5
Vakuumski sistemi in dostava plina
Vakuumske prirobnice (CF/KF/ISO) · Komponente zapornega ventila · Priključki za plinovod · Čelna tesnila tipa VCR- · Razdelilni bloki · Montažni deli črpalke
Materiali:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Ravnanje z rezinami in transport
Robotske roke · končni efektorji · objemke za rezine · robni prijemi · komponente kasete · deli dvigala in vilic · kinematični nosilci
Materiali:6061-T6 · 7075-T6 · · C17200 berilijev baker · Titan stopnje 5
Ionska implantacija in deli žarkov
Komponente žarkov · elektrode · odprtine · deli za dušenje in ekstrakcijo · visoko-temperaturni ščiti
Materiali:TZM molibden · Volfram W · Ta-2,5W tantal
Napajalne komponente RF in plazme
RF konektorji · dovodna ohišja · držala elektrod · oklopni deli · kontaktne vzmeti
Materiali:C10100 OFHC baker · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Toplotno upravljanje & CMP
Hladilne plošče · Komponente hladilnika · Hladilni odvodi · Deli glave CMP · Varovalni obroči · Komponente plošč
Materiali:C10100 OFHC baker · 6061-T6 · 316L
Meroslovna in inšpekcijska oprema
Optični nosilci · komponente odra · osnovne plošče · vpenjala za poravnavo · kinematični pritrdilni deli
Materiali:6061-T6 · 7075-T6 · Titan stopnje 5
Oprema za mokro obdelavo in čiščenje
Komponente rezervoarja in kopeli · razpršilne ročice · držala šob · deli valjev in krtač · armature, odporne-na kemikalije
Materiali:316L · Hastelloy C-276 · Titan stopnje 2
Polprevodniški CNC obdelani deli, ki jih izdelujemo
Komponente vakuumske komore
Ohišja komor, pokrovi, obloge in montažni obroči z nadzorovano ravnostjo, tesnilnimi površinami in zahtevami po nizkem izpuščanju plinov.
Materiali:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Vakuumske prirobnice in priključki
CF (ConFlat), KF in ISO prirobnice, nastavki, adapterji in priključki za plinske napeljave za storitve UHV.
Materiali:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Plošče in šobe za distribucijo plina
Natančno-izvrtane razdelilne plošče, injektorske šobe in strojna oprema za namestitev prhe.
Materiali:6061-T6 · Titan stopnje 5 · 316L
Objemke, obročki in ročaji za rezine
Fokusni obroči, vpenjalni obroči, robni prijemi in vodila za rezine s tesnim nadzorom ravnosti in dimenzij.
Materiali:6061-T6 · C17200 · Titan stopnje 5
Robotske roke in končni efektorji
Ročice za prenos rezin, vilice in končni efektorji z uravnoteženo težo, togostjo in nadzorom delcev.
Materiali: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Komponente črpalk in ventilov
Ohišja, rotorji, lopatice, lopute, sedeži in deli stebla za suhe črpalke, zaporni ventili in strojna oprema za-masni nadzor pretoka.
Materiali:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Procesni komplet in potrošni deli
Zamenljivi deli kompleta, zasnovani za ponovna naročila z doslednimi tolerancami in čistočo.
Materiali:6061-T6 · Titan stopnje 5 · 316L VIM-VAR
Hladilne plošče in hladilniki
Vodno{0}}hlajene plošče, hladilna telesa in deli hladilnika s kritičnimi-ploskostmi površinami.
Materiali:C10100 OFHC baker · 6061-T6 · 316L
RF in kontaktne komponente
RF ohišja, deli konektorjev, kontaktne vzmeti in komponente za zaščito pred elektromagnetnimi motnjami.
Materiali: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Imate polprevodniški del po meri? Pošljite svojo datoteko CAD
CNC obdelovalni procesi za polprevodniške dele
CNC struženje
Najboljše za:Priključki · nastavki · stebla ventilov · rotorji črpalk · šobe
Idealno za cilindrične komponente s tesno koncentričnostjo.
CNC rezkanje
Najboljše za:Telo komore · osnovne plošče · razdelilniki · nosilci
Primerno za ravne, prizmatične in več{0}}komponente.
5-osna CNC obdelava
Najboljše za:Končni efektorji · kompleksna ohišja · RF komponente
Obdeluje kompleksne geometrije in sestavljene kote v eni postavitvi.
CNC struženje-rezkanje
Najboljše za:Priključki za plinovod · spojni deli z rezkanimi lastnostmi
Združuje struženje in rezkanje za kompleksne rotacijske dele.
Švicarska CNC obdelava
Najboljše za:Majhni priključki · komponente senzorjev · natančni zatiči
Zasnovan za majhne, vitke in visoko{0}}natančne komponente.
CNC brušenje in honanje
Najboljše za:Tesnilne površine · sedeži ležajev · precizne izvrtine
Uporablja se za kritične premere, prileganje in zrcalne zaključke (Ra 0,1–0,4 μm dosegljiv).
CNC obdelovalni materiali za polprevodnike
Za polprevodniške komponente je izbira materiala odvisna odvakuumska združljivost, procesna kemija, plazemska odpornost, temperatura, magnetizem, nastajanje delcev in toplotno upravljanje. Strojno obdelujemo vrsto kovinskih in inženirskih plastičnih materialov za komore, plinske sisteme, obdelavo rezin, RF in termične dele.
| Material | Skupne ocene | Tipične aplikacije polprevodnikov | Ključne prednosti |
|---|---|---|---|
| Aluminij | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Ohišja komor, osnovne plošče, robotske roke, hladilniki, nosilci | Lahka, eloksirana, dobra toplotna prevodnost; 6061-T6 je delovni konj za strojno opremo za komore |
| Nerjaveče jeklo | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Vakuumske prirobnice, plinske armature, deli ventilov, -strojna oprema visoke trdnosti | Odpornost na korozijo in temperaturo; 316L VIM-VAR je standard za storitev UHV z nizkim-odplinjanjem |
| Titan | Razred 2 (CP) · Razred 5 (Ti-6Al-4V) | Deli za distribucijo plina, procesni kompleti, strojna oprema za mokro obdelavo | Odpornost na plazmo in kemikalije, visoka trdnost-na-težo, ne-magnetno |
| Baker | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 berilijev baker | RF deli, hladilne plošče, kontaktne vzmeti, električna strojna oprema | Odlična električna in toplotna prevodnost; OFHC idealen za upravljanje RF in toplote |
| Nikljeve zlitine | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Kemično{0}}odporna oprema, visoko-temperaturni deli, meroslovne strukture | Kemična in temperaturna odpornost; Invar 36 ponuja skoraj-ničelno toplotno raztezanje |
Zakaj 316L VIM-VAR?Za ultra-visoke-vakuumske (UHV) komponente izvajamo obdelavo316L VIM-VAR- dvojno-taljeno nerjavno jeklo z zelo nizko vsebnostjo plinov in vključki. Izpušča manj plinov, vari bolj predvidljivo in ostane čist med vakuumiranjem. Če vaša risba določa VIM-VAR ali elektropolirani 316L, lahko dobavimo material s popolnim certifikatom.
Izbira materiala za vakuumska in čista okolja
Združljivost z vakuumom in izločanje plinov
Materiali v komori ne smejo izpuščati plinov ali ujeti delcev. 316L VIM-VAR, 6061-T6 so pogosta izbira; poroznost in površinska obdelava sta nadzorovana, da ohranjata nizko izločanje plinov.
Odpornost na kemikalije in plazmo
Halogeni in fluorirani procesni plini napadajo številne kovine. TZM molibden, Ta-2,5W, Hastelloy C-276, titan stopnje 5 so izbrani za jedko kemijo in izpostavljenost plazmi.
Nadzor delcev in kontaminacije
Obraba, robovi in ujeti odpadki ustvarjajo delce, ki ubijajo pridelek. Pred pakiranjem razignemo vsak rob, nadzorujemo hrapavost površine in očistimo dele v skladu s standardi čistih prostorov.
Toplotno upravljanje
Toplota vpliva na enakomernost postopka. C10100 OFHC baker in 6061-T6 se uporabljata za hladilne plošče in toplotna telesa; TZM in volfram upravljata z visokotemperaturnimi žarki in deli komore.
Magnetne in električne lastnosti
Nekateri postopki zahtevajo ne-magnetne materiale, kot je 316L, titan stopnje 5; RF in strojna oprema za ozemljitev uporabljata OFHC baker C10100 in berilijev baker C17200.
Natančnost in stabilnost
Meroslovni in litografski deli potrebujejo dimenzijsko stabilnost: aluminij 6061-T6 in 7075-T6, titan razreda 5 drži geometrijo pri temperaturnih spremembah.
Tolerance in specifikacije za CNC obdelavo polprevodnikov
Polprevodniške komponente pogosto zahtevajo mikronsko-natančnost na tesnilnih površinah, namestitvenih točkah, kontaktnih-površinah rezin in natančnih izvrtinah, tako da se orodja pravilno sestavijo in postopki ostanejo ponovljivi.
| Specifikacija | Tipična zmogljivost | Tipične aplikacije polprevodnikov |
|---|---|---|
| Linearne dimenzije | ±0,01 mm (natančnost do ±0,005 mm) | Deli komore, osnovne plošče, razdelilniki |
| Premer izvrtine in gredi | ±0,005–0,01 mm | Rotorji črpalk, stebla ventilov, natančna oprema |
| Ravnost | Do 0,01 mm/100 mm | Tesnilne površine, hladilne plošče, kinematični nosilci |
| Koncentričnost / iztekanje | Do 0,01 mm | Rotacijski deli črpalk, sklopke |
| Pravi položaj | ±0,01 mm | Vzorci lukenj-za vijake, luknje za distribucijo plina |
| Površinska hrapavost | Ra 0,2–0,8 μm standard; Ra 0,1–0,4 μm na zahtevo | Tesnilne površine, kontaktne-površine rezin, notranjost komore |
| Odstranjevanje robov | Nadzorovano po risbi (na voljo je mikro-odstranjevanje robov) | Vsi-kritični deli za delce |
| Toleranca niti | V skladu z zahtevami ISO / ASME | Fitingi, prirobnice, montažna oprema |
Kritične funkcije, ki jih nadzorujemo
Tesnilni in O{0}}obročki- nadzorovana globina, širina in površinska obdelava za vakuumska in tekoča tesnila.
Stične-površine za rezine- nadzor ravnosti in hrapavosti za preprečevanje poškodb rezin in nastajanja delcev.
Natančne izvrtine in prileganje- natančne izvrtine za ležaje, gredi in-komponente za stiskanje.
Luknje za distribucijo plina- natančna velikost luknje, položaj in razigljevanje za enakomeren pretok plina.
Datum in značilnosti namestitve- dosledne referenčne točke za ponovljivo sestavljanje in poravnavo.
Površinske obdelave polprevodniških CNC delov
Površinska obdelava je del strategije kontaminacije in korozije v polprevodniški opremi. Pravi zaključek nadzoruje delce, izločanje plinov, kemično odpornost in električno obnašanje.
| Površinska obdelava | Uporabni materiali | Tipični polprevodniški deli | Glavna korist |
|---|---|---|---|
| Elektropoliranje | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Vakuumske prirobnice, plinovodi, obloge komor | Odstrani površinski material in vključke; zmanjša izločanje plinov in lovljenje delcev |
| Pasivacija | 316L · 304L · 17-4 PH | Pribor, pritrdilni elementi, deli ventilov | Odstrani prosto železo, izboljša odpornost proti koroziji |
| Anodizacija tipa II | 6061-T6 · 6063-T5 | Korpusi komor, osnovne plošče, nosilci | Izolacijska, korozijsko-odporna plast; barvne možnosti |
| Trda anodizacija (Tip III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Obrabne površine, vodila, deli robota | Trden, obrab{0}}odporen zaščitni sloj |
| Brezelektrično nikljanje | 6061-T6 · 7075-T6 · Jeklo | Strojna oprema komore, deli procesnega kompleta | Enakomerna zaščita pred obrabo in korozijo |
| Pozlačevanje | C10100 · C11000 · 6061-T6 | RF kontakti, deli konektorjev | Nizka kontaktna odpornost, zaščita pred korozijo |
| Pocinkanje | C10100 · C11000 | Električni vodniki, vodila | Spajkanje in zaščita pred korozijo |
| Peskanje kroglic | 6061-T6 · 316L · Jeklo | Ohišja, pokrovi,-nekritične površine | Enoten mat zaključek (nadzorovano za sproščanje delcev) |
| Čiščenje čistih prostorov | Vsi materiali | Vsi deli pred pakiranjem | Več{0}}stopenjsko ultrazvočno čiščenje, brez olja, brez ostankov, nadzor-delcev |
Nadzor kakovosti CNC obdelave polprevodnikov
Pregledujemo kritične dimenzije, prileganja, ravnost, odtekanje in površinske zahteve skozi celotno proizvodnjo, da zagotovimo, da CNC strojno obdelani polprevodniški deli ustrezajo risbi. Za projekte, ki zahtevajo dokumentirano kakovost, lahko priskrbimo materialne certifikate, poročila o dimenzijah in dokumentacijo o čistosti v podporo vašemu dohodnemu pregledu.
Preverjanje materiala
Preverjanje materiala
Dimenzijski pregled
GD&T pregled
Pregled navojev
Pregled površinske obdelave
Končni pregled
Pregled embalaže
| Inšpekcijski predmet | Oprema / metoda | Tipični polprevodniški deli |
|---|---|---|
| Dimenzijski pregled | CMM · Čeljusti · Mikrometri | Splošne dimenzije delov |
| Premer izvrtine in gredi | Merilo izvrtine · Merilo čepa · CMM | Rotorji črpalk, stebla ventilov, pribor |
| Ravnost in vzporednost | Površinska plošča · CMM | Tesnilne površine, hladilne plošče |
| Pravi položaj | CMM | Vzorci lukenj, plošče za distribucijo plina |
| Površinska hrapavost | Tester hrapavosti | Tesnilne površine, kontaktne-površine za rezine |
| Pregled navojev | Go/No-Go Merilniki niti | Okovje in pritrdilni elementi |
| Preverjanje materiala | Spektrometer + potrdilo o materialu | Vhodne surovine (EN 10204 3.1 na voljo; VIM-VAR certifikat na zahtevo) |
| Preverjanje čistoče | Vizualni pregled + pregled delcev na zahtevo | Deli,-dobavljeni v čiste sobe |
| Končni pregled | CMM + poročilo o pregledu | Sprejem končne dimenzije |
Potrebujete dokumentiran nadzor kakovosti?Pošljite nam svoje risbe in zahteve za pregled.
Prototip in nizko{0}}obdelovalna CNC obdelava za polprevodnike
Polprevodniški projekti se pogosto začnejo s prototipi - novimi zasnovami orodij, razvojem kompletov procesov, deli za nadgradnjo ali nadomestnimi komponentami, ki jih je treba potrditi pred proizvodnjo. Podpiramoprototip in CNC obdelava v-nižkem obseguod začetnih vzorcev do ponovnih majhnih{0}}serijskih naročil.
Obdelava prototipov
Za razvoj novih orodij, preverjanje procesov in spremembe dizajna.
Tipična količina:1–10 kosov
Majhna-serijska proizvodnja
Za pilotne sisteme, nadgradnje orodij in začetne proizvodne serije.
Tipična količina:10–1,000+ kos
Ponovite proizvodnjo
Za rezervne procesne komplete in ponavljajoča se naročila z uveljavljenimi dizajni.
Tipična količina:Na podlagi projektnih zahtev
Primerno za
Vakuumska komora in strojna oprema za dovod plina
Komponente za ravnanje z rezinami in vpenjanje
Deli za jedkanje, nanašanje in ionsko implantacijo
RF, električni in toplotni upravljalni deli
Meroslovne in kontrolne naprave
Rezervni deli in procesni kompleti za obstoječa orodja
Pakiranje in dobavni rok za polprevodniške CNC dele
Pakiranje
Individualna zaščita:PE vrečke, pena ali zaščitna folija za obdelane površine
Pakiranje čiste sobe:Očiščeni deli so dvojno-zapakirani v čiste vreče (na voljo-možnost čiščenja z dušikom)
Majhni deli:Ločene škatle za preprečevanje prask in stika med deli--deloma
Natančni deli:Penasti vložki in ločeni predelki za kritične komponente
Pakiranje po meri:Številke delov, nalepke, količine in-zahteve glede pakiranja, specifične za stranke
Tipičen dobavni rok
| Vrsta naročila | Tipičen dobavni rok |
|---|---|
| Prototip | 5–10 delovnih dni |
| Nizko{0}}količinsko naročilo | 10–20 delovnih dni |
| Proizvodni nalog | 15–30 delovnih dni |
| Ponovi naročilo | 10–25 delovnih dni |
pogosta vprašanja
V: Katere polprevodniške CNC strojno obdelane dele lahko izdelate?
O: Izdelujemo komponente vakuumske komore po meri, prirobnice in priključke za plinske napeljave, plošče za distribucijo plina, objemke in obroče za rezine, dele rok robota, komponente črpalk in ventilov, dele žarka ionskega implantatorja, RF komponente, hladilne plošče, hladilna telesa in dele procesnega kompleta za polprevodniško opremo.
V: Kakšne tolerance CNC obdelave lahko dosežete?
O: Naša standardna CNC toleranca je običajno ±0,05 mm, z natančno obdelavo do ±0,02 mm in izbranimi kritičnimi značilnostmi do ±0,005–0,01 mm, odvisno od geometrije, materiala in zahtev glede risbe.
V: Ali lahko dobavite 316L VIM-VAR za vakuumske komponente?
O: Da. Za ultra{1}}visoke-vakuumske storitve lahko strojno obdelamo 316L VIM-VAR (vakuumsko indukcijsko taljeno in vakuumsko obločno pretaljeno) z nizko vsebnostjo plina, dobavljeno s certifikatom materiala. Na voljo je elektropoliranje za zmanjšano izločanje plinov in lovljenje delcev.
V: Ali ponujate čiščenje in pakiranje-združljivo s čistimi prostori?
O: Da. Deli so lahko več{1}}ultrazvočno očiščeni, posušeni in dvojno-zapakirani v čiste vrečke (čiščenje z dušikom ni obvezno), da površine ostanejo brez delcev-za dostavo v čiste prostore.
V: Ali lahko priskrbite materialna potrdila in poročila o inšpekcijskih pregledih?
O: Da. Odvisno od projektnih zahtev lahko zagotovimo materialne certifikate (EN 10204 3.1, vključno s certifikatom VIM-VAR), poročila o pregledu dimenzij, poročila CMM in zapise o površinski obdelavi.
V: Ali lahko obdelate ne-magnetne komponente?
O: Da. Obdelujemo ne-magnetne razrede, vključno z nerjavnim jeklom 316L, titanom stopnje 5, aluminijem 6061-T6 in PEEK za aplikacije, kjer se je treba izogibati magnetizmu.
V: Kakšne površinske obdelave uporabljate za polprevodniške dele?
O: Odvisno od materiala in uporabe nudimo elektropoliranje, pasivacijo, trdo eloksiranje tipa II in tipa III, brezelektrično nikljanje, pozlačevanje in kositrenje, peskanje z biseri in čiščenje čistih prostorov.
V: Ali sprejemate 2D risbe in datoteke CAD?
O: Delamo lahko iz običajnih datotek STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF in 2D risb.
V: Ali podpirate prototipno in nizko{0}}serijsko proizvodnjo?
O: Da. Podpiramo količine prototipov od 1–10 kosov, nizko-serijsko proizvodnjo od 10–1,000+ kosov, pa tudi ponovna proizvodna naročila za procesne komplete in rezervne dele.
V: Kakšen je tipičen dobavni rok za polprevodniške dele CNC?
O: Običajni dobavni roki so 5–10 delovnih dni za prototipe, 10–20 delovnih dni za nizko-naročila in 15–30 delovnih dni za proizvodna naročila, odvisno od kompleksnosti delov, količine, materiala in končne obdelave.
Priljubljena oznake: polprevodniški CNC strojno obdelani deli, Kitajska polprevodniški CNC strojno obdelani deli proizvajalci, dobavitelji, tovarna, titanium
Par
neNaslednji
Pomorski CNC obdelani deliMorda vam bo všeč tudi
Pošlji povpraševanje